Antecedentes e Visão Geral [1]
1-Vinil-N - (Vinildimetilsilil) -1,1-dimetilsililamina, também conhecido como 1,1,3,3-tetrametil-1,3-divinildissilazano, é um líquido transparente incolor que pode ser usado na fabricação de borracha de silicone, silicone coloidal e resina de vinil silicone. Como promotor de adesão para fotorresiste negativo.

Aplicação [3]

CN201110431560.9 fornece um método para processar uma camada porosa de constante dielétrica ultrabaixa, que inclui: fornecer um dispositivo semicondutor em uma câmara de reação, a superfície do dispositivo semicondutor tendo uma camada porosa de constante dielétrica ultrabaixa, a temperatura na reação câmara sendo 300-400 ℃ e a pressão sendo 80-300 bar; Injetar uma solução de fluido supercrítico de CO2 na câmara de reação, na qual 1-vinil-N - (vinildimetilsilil) -1,1-dimetilsililamina é dissolvida; Entre em contato com a solução com a camada porosa de constante dielétrica ultrabaixa.